응용 부문

리소그래피

X-Y 좌표 테이블용 고정밀 리니어 가이던스 시스템

칩에 구조를 적용하기 위해 극히 빛에 민감한 감광성 래커로 코팅되어 있습니다. 감광성 래커는 마스크를 통해 노출되며 빛이 비치는 경우 분해됩니다.

차세대 반도체 생산에서는 크기가 60nm 미만인 구조를 생산하여 저장 밀도와 스위칭 속도를 높이는 것을 목표로 하고 있습니다.

리니어 모터에 의해 구동되는 좌표 X-Y 테이블은 기판과 프로젝션 마스크를 이동시킵니다. 기계는 견고한 진동 감쇠형 화강암 베드와 고정밀 가이드 시스템, 예를 들어 INA 리니어 롤러 베어링과 가이드웨이 어셈블리 RUE에 기반한 장비입니다. 이 가이드 시스템은 극히 소음이 낮고 동작과 변위 저항이 균일하여 복제성과 위치 설정 정확도가 높습니다.