응용 부문

결정 인상

 
 

요구사항: 신뢰할 수 있는 동작 공정

완성된 웨이퍼가 생산 라인을 벗어나기 전에 실리콘 단결정은 수많은 공정 작업을 거쳐야 합니다. 이러한 공정 작업은 단결정 성장 공정부터 시작됩니다.

단결정 성장 기계에서는 무진동의 균일한 이송 동작이 요구됩니다. INA는 이것에 어떻게 대처할 수 있습니까?

이러한 요구사항을 충족하기 위한 맞춤형 솔루션은 우리의 메인터넌스 프리 4열 리니어 볼 베어링과 가이드웨이 어셈블리 KUVE입니다. 변위 저항이 낮고 균일하기 때문에 균일하고 정밀하게 동작하며 따라서 실리콘 로드의 인상에서 필요한 극히 느리면서도 일정한 속도의 이송을 가능하게 합니다.